Приборы для анализа поверхности

Электронно-зондовые микроанализаторы

Электронно-зондовые микроанализаторы – приборы, предназначенные для точного локального неразрушающего качественного и количественного анализа элементного состава различных материалов. Они отличаются от растровых электронных микроскопов высочайшей стабильностью параметров электронного пучка, наличием 5 портов для волновых спектрометров, одного ЭДС и возможностью подключения других приставок.

Оже-микрозонды

Оже-микрозонды – приборы для локального качественного и количественного анализа элементного и фазового состава тонкого приповерхностного слоя различных материалов, анализа химических связей. Они позволяют изучать поверхность образцов площадью в несколько десятков квадратных нанометров и на глубину до нескольких атомных слоев, а использование встроенных систем ионного травления дает возможность проводить послойный анализ и отслеживать изменения фазового состава образцов по глубине.

Рентгеновские фотоэлектронные спектрометры

Рентгеновские фотоэлектронные спектрометры (РФЭС) реализуют количественный спектроскопический метод исследования элементного состава и химического состояния атомов, присутствующих в материале. Благодаря своей высокой чувствительности, эти приборы также применяются для обнаружения малых примесей или загрязнений на поверхностях различных образцов. РФЭС широко используются в полупроводниковой и химической промышленности, полиграфии, археологии, а также в материаловедении.

Атомно-силовые микроскопы

Атомно-силовые микроскопы позволяют не только изучать структуру вещества на атомном и молекулярном уровне, но и модифицировать ее, создавая наноразмерные объекты и устройства. Оснащение АСМ Рамановским спектрометром дает возможность изучать также состав поверхности образцов. Атомно-силовые микроскопы нашли широкое применение в материаловедении, клеточной биологии и микроэлектронике.