Оже-микрозонды
JAMP-9510F
Оже-микрозонд JAMP-9510F
На данный момент обладает самой высокой пространственной разрешающей способностью в мире. Его совершенная электронно-оптическая система позволяет достигать разрешения 3 нм в режиме изображения во вторичных электронах и 8 нм в режиме оже-анализа.