Оже-микрозонды

JAMP-9510F

Оже-микрозонд JAMP-9510F

На данный момент обладает самой высокой пространственной разрешающей способностью в мире. Его совершенная электронно-оптическая система позволяет достигать разрешения 3 нм в режиме изображения во вторичных электронах и 8 нм в режиме оже-анализа.