Электронно-зондовый микроанализатор 5-го поколения JXA-8230

Электронно-зондовый микроанализатор 5-го поколения JXA-8230 – это превосходный инструмент для неразрушающего, точного локального количественного анализа элементного состава различных материалов. Установка одновременно до 5 волновых спектрометров плюс один ЭДС, возможность дополнительно установить детектор катодолюминесценции или другие приставки, все это делает JXA-8230 непревзойденным инструментом для изучения локального состава образцов.

JXA-8230 позволяет получать не только прекрасные результаты количественного анализа, но и отличного качества изображения поверхности образца во вторичных электронах (разрешение 5нм), исследовать однородность материала, регистрируя отраженные электроны, проводить элементное картирование при помощи спектрометров с дисперсией по энергии или по длинам волн, а также изучать поля механических напряжений и разориентацию кристаллитов, используя систему дифракции отраженных электронов, по сути, работая в режиме растрового электронного микроскопа.

Ключевыми преимуществами электронно-зондового микроанализатора JXA-8230 над растровыми электронными микроскопами являются:

• высокая стабильность ускоряющего напряжения и тока пучка;
• высочайшая стабильность и точность перемещения столика образцов;
• Возможность работы в полностью автоматическом режиме: оператор днем задает точки анализа, микроанализатор ночью собирает данные;
• высокая чувствительность по следовым элементам;
• высокая производительность, благодаря одновременной работе до5 волновых и одного энергодисперсионного спектрометров.

По желанию заказчика JXA-8230 комплектуется системой катодолюминесценции. Она позволяет регистрировать спектры свечения образцов под воздействием электронного пучка и проводить картирование поверхности на определенных длинах волн. На выбор доступны два типа систем: подключаемые через оптический микроскоп (разработка компании JEOL Australia) и через порт волнового спектрометра (разработка компании Gatan). Первые из них подключаются к окуляру встроенного в микрозонд оптического микроскопа и позволяют регистрировать катодолюминесценцию в процессе работы с волновыми спектрометрами. Вторые покрывают более широкий спектральный диапазон (от жёсткого ультрафиолета до мягкого инфракрасного излучения), но требует наличия свободного WDS-порта.

Основные преимущества:

• Высочайшая стабильность ускоряющего напряжения и тока пучка (отклонение не более 0,3% за 12 часов) обеспечивает высокую точность анализа;
• Электронно-оптическая колонна JXA-8230 позволяет получать изображения хорошего качества даже на больших рабочих отрезках (5 нм на рабочем отрезке 11 мм);
• Возможность выбора оператором катода в зависимости от решаемых в данный момент задач: дешевый вольфрамовый для рутинной работы или LaB6 для тонких исследований;
• Мощная электронная пушка обеспечивает широкий диапазон токов пучка (от 1 пА до 10 мкА);
• Микрозонд JXA-8230 комплектуется энергодисперсионным спектрометром и 1-5 спектрометрами с волновой дисперсией. Последние делятся на 2 типа: высокого спектрального разрешения (используются для фазового анализа) и высокой интенсивности (для анализа состава малых примесей);
• Большой выбор кристаллов для анализа тяжелых и легких элементов;
• Высокое энергетическое разрешение спектрометров с дисперсией по длинам волн позволяет регистрировать химические сдвиги линий элементов и точно устанавливать фазовый состав образцов;
• Точный анализ даже таких легких элементов, как бериллий, бор, углерод, азот и кислород;
• Высокая механическая стабильность и высокая точность перемещений столика образцов (воспроизводимость положения столика не хуже 0,5мкм);
• Большой столик образцов позволяет работать с объектами размерами до 100 мм х 100 мм х 50 мм;
• Вакуумная система с двухстадийной дифференциальной откачкой;
• Возможность устанавливать множество разнообразных приставок (энергодисперсионный спектрометр, система дифракции отраженных электронов, система катодолюминесценции, рентгеновский микрофокусный источник и т.д.);
• Возможность установки системы проходящего поляризованного света и работы с прозрачно-полированными пластинами.

Электронно-оптическая система
Источник электронов	Катод из вольфрама или гексаборида лантана
Диапазон ускоряющих напряжений	0,2 - 30 кВ (с шагом 100 В)
Диапазон токов пучка	1 пА - 10 мкА
Стабильность тока пучка	Не более 0,05% в час И не более 0,3% за 12 часов
Разрешение на аналитическом рабочем отрезке (11 мм)	5 нм при использовании катода на основе монокристалла LaB6 6 нм при использовании вольфрамового катода
Диапазон увеличений	от x40 до х300,000
Изображения, получаемые с детектора отраженных электронов	Топология поверхности и контраст по атомному номеру
Цифровое разрешение получаемых изображений	До 5120х3840 пикселов
Диаметр зонда	40 нм при 10 кВ и 10 нА 100 нм при 10 кВ и 100 нА
Система микроанализа
Диапазон анализируемых элементов	На спектрометрах с дисперсией по длинам волн: от 4Be до 92U На энергодисперсионном спектрометре: от 5B до 92U
Количество спектрометров	С дисперсией по длинам волн: от 1 до 5 Энергодисперсионных: 1
Диапазон детектируемых длин волн	От 0,087 до 9,3 нм
Столик образцов
Диапазон перемещений образца	X: ±90 мм; Y: ±90 мм
Максимальный размер образца	150 мм х 150 мм х 50 мм
Скорость перемещений столика образцов	До 15 мм/с
Точность позиционирования столика образцов	Не более 0,5 мкм
Приставки
Устанавливаемые приставки	Столик для образцов больших размеров Система катодолюминесценции Система дифракции отраженных электронов (ДОРЭ)