Электронно-зондовый микроанализатор JXA-8530F (HyperProbe)

Электронно-зондовый микроанализатор JXA-8530F (HyperProbe) – это превосходный прибор для неразрушающего, точного локального количественного анализа элементного состава различных материалов на субмикронном уровне. От модели JXA-8230 он отличается тем, что использует в качестве источника электронов катод Шоттки и обладает более высокой яркостью и намного меньшим диаметром электронного пучка. Это позволяет JXA-8530F проводить анализ с более высокой локальностью, чем зондам с вольфрамовыми и LaB₆ катодами.

JXA-8530F дает возможность не только получать точные результаты количественного анализа, но и регистрировать отличного качества изображения поверхности образца. Разрешение JXA-8530F в режиме регистрации вторичных электронов составляет 3 нм на аналитическом рабочем отрезке 11 мм, что является прекрасным показателем для микрозонда. Также этот прибор позволяет исследовать однородность материала, регистрируя отраженные электроны, проводить элементное картирование при помощи спектрометров с дисперсией по энергии или по длинам волн, изучать поля механических напряжений и разориентацию кристаллитов, используя систему дифракции отраженных электронов, по сути, работая в режиме растрового электронного микроскопа.

Ключевыми преимуществами электронно-зондового микроанализатора JXA-8530F над РЭМ являются:

• высокая стабильность ускоряющего напряжения и тока пучка;
• высочайшая стабильность и точность перемещения столика образцов;
• возможность работы в полностью автоматическом режиме: оператор днем задает точки анализа, микроанализатор ночью накапливает данные;
• высокая чувствительность по следовым элементам;
• высокая производительность, благодаря одновременной работе до 5 волновых и одного энергодисперсионного спектрометров.

По желанию заказчика JXA-8530F комплектуется системой катодолюминесценции. Она позволяет регистрировать спектры свечения образцов под воздействием электронного пучка и проводить картирование поверхности на определенных длинах волн. На выбор доступны два типа систем: подключаемые через оптический микроскоп (разработка компании JEOL Australia) и через порт волнового спектрометра (разработка компании Gatan). Первые из них подключаются к окуляру встроенного в микрозонд оптического микроскопа и позволяют регистрировать катодолюминесценцию в процессе работы с волновыми спектрометрами. Вторые покрывают более широкий спектральный диапазон (от жёсткого ультрафиолета до мягкого инфракрасного излучения), но требуют наличия свободного порта WDS.

Основные преимущества:

• Высочайшая стабильность ускоряющего напряжения и тока пучка (отклонение не более 0,3% в час) обеспечивает высокую точность анализа;
• Электронно-оптическая колонна JXA-8530F с катодом Шоттки позволяет получать изображения хорошего качества даже на больших рабочих отрезках (3 нм на рабочем отрезке 11 мм);
• Мощная электронная пушка обеспечивает широкий диапазон токов пучка (от 1 пА до 500 нА);
• Электронно-зондовый микроанализатор JXA-8530F комплектуется энергодисперсионным спектрометром и 1-5 спектрометрами с волновой дисперсией. Последние делятся на 2 типа: высокого спектрального разрешения (используются для фазового анализа) и высокой интенсивности (для анализа состава малых примесей);
• Большой выбор кристаллов для анализа тяжелых и легких элементов;
• Высокое энергетическое разрешение спектрометров с дисперсией по длинам волн позволяет регистрировать химические сдвиги линий элементов и точно устанавливать фазовый состав образцов;
• Точный анализ даже таких легких элементов, как бериллий, бор, углерод, азот и кислород;
• Высокая механическая стабильность и высокая точность перемещений столика образцов (воспроизводимость положения столика не хуже 0,5мкм);
• Большой столик образцов позволяет работать с объектами размерами до 100 мм х 100 мм х 50 мм;
• Вакуумная система с двухстадийной дифференциальной откачкой;
• Возможность устанавливать множество разнообразных приставок (дополнительный энергодисперсионный спектрометр, система дифракции отраженных электронов, система катодолюминесценции, рентгеновский микрофокусный источник и т.д.);
• Возможность установки системы проходящего поляризованного света и работы с прозрачно-полированными пластинами.