Электронно-зондовый микроанализатор JXA-iSP100

Электронно-зондовый микроанализатор 6-го поколения JXA-iSP100 – это превосходный инструмент для неразрушающего, точного локального количественного анализа элементного состава различных материалов. Установка одновременно до 5 волновых спектрометров плюс один ЭДС, возможность дополнительно установить детектор катодолюминесценции или другие приставки, все это делает JXA-iSP100 непревзойденным инструментом для изучения локального состава образцов.

JXA-iSP100 позволяет получать не только прекрасные результаты количественного анализа, но и отличного качества изображения поверхности образца во вторичных электронах (разрешение 5нм), исследовать однородность материала, регистрируя отраженные электроны, проводить элементное картирование при помощи спектрометров с дисперсией по энергии или по длинам волн, а также изучать поля механических напряжений и разориентацию кристаллитов, используя систему дифракции отраженных электронов, по сути, работая в режиме растрового электронного микроскопа.

По желанию заказчика JXA-iSP100 комплектуется системой катодолюминесценции. Она позволяет получать изображения, регистрировать, анализировать спектры свечения образцов под воздействием электронного пучка и проводить картирование поверхности на определенных длинах волн. На выбор доступны системы двух типов: подключаемая через оптический микроскоп или через порт волнового спектрометра. Оба варианта имеют свои конструктивные особенности и возможности.

Вот только некоторые преимущества:

• Высочайшая стабильность ускоряющего напряжения и тока пучка (отклонение от заданной величины - не более 0,3% за 12 часов) обеспечивают высокую точность анализа;
• Электронно-оптическая колонна JXA-iSP100 позволяет получать изображения хорошего качества даже на больших рабочих отрезках (5 нм на рабочем отрезке 11 мм);
• Возможность выбора оператором типа катода, в зависимости от решаемых в данный момент задач: дешевый вольфрамовый для рутинной работы или LaB6 для более тонких исследований (катоды взаимозаменяемы);
• Электронная пушка обеспечивает широкий диапазон токов пучка (от 1 пА до 10 мкА);
• Микрозонд JXA-iSP100 комплектуется одним энергодисперсионным спектрометром и от 1 до 5 спектрометрами с волновой дисперсией;
• Два типа спектрометров с дисперсией по длинам волн: высокого спектрального разрешения и высокой интенсивности;
• Возможность «живого» анализа основных элементов образца в реальном времени, прямо на изображении;
• Большой выбор кристалл-анализаторов, в том числе для легких элементов ;
• Высокое энергетическое разрешение спектрометров с дисперсией по длинам волн позволяет регистрировать химические сдвиги линий элементов и точно устанавливать валентное состояние элементов и фазовый состав образцов;
• Встроенный в держатель образцов блок на 18 стандартов позволяет быстро проводить калибровку спектрометров микрозонда и получать точные результаты, даже во время отсутствия оператора (например, при работе по заданной программе ночью);
• Точный анализ легких элементов(бериллий, бор, углерод, азот, кислород);
• Высокая механическая стабильность и высокая точность перемещений столика образцов (воспроизводимость положения столика не хуже 0,5 мкм);
• Большой столик образцов позволяет работать с объектами размерами до 100 мм х 100 мм х 50 мм;
• Полностью автоматизированная шлюзовая камера позволяет быструю и безопасную смену образцов Система навигации по оптическому и электронному изображению позволяет удобный поиск «мест интереса» на образцах, автоматическую запись координат, привязку координат к изображениям, а также возможность в любой момент вернуться в нужное место.
• Вакуумная система с двухстадийной дифференциальной откачкой уже многократно доказала свою надёжность и долговечность;
• Возможность устанавливать множество разнообразных приставок (энергодисперсионный спектрометр, cпектрометр мягкого рентгеновского излучения, система дифракции отраженных электронов, система катодолюминесценции и т.д.);
• Возможность установки системы проходящего поляризованного света и работы с прозрачно-полированными пластинами.