Рентгеновский фотоэлектронный спектрометр JPS-9200

Рентгеновский фотоэлектронный спектрометр JPS-9200 позволяет проводить работу в двух основных режимах: фотоэлектронного спектрометра и РФЭС-микрозонда. Он создан по классической, прекрасно отработанной схеме, оснащен двумя рентгеновскими и одной ионной пушкой, моторизованным монохроматором рентгеновского излучения, полусферическим анализатором энергий электронов, большим моторизованным столиком образцов, системой регистрации и обработки спектров. Благодаря своей высокой надежности и функциональности, JPS-9200 нашел широкое применение в исследованиях фазового состава и свойств поверхности широкого класса образцов.

Основные преимущества JPS-9200:

• Из двух рентгеновских пушек, входящих в состав спектрометра, одна работает в связке с монохроматором, а другая представляет собой двуханодную Mg/Al систему;
• Ионная пушка усовершенствованной конструкции позволяет не только снимать заряд, накопившийся на непроводящем образце и очищать поверхность от оксидных пленок, но и быстро и эффективно проводить травление при послойном анализе фазового состава;
• Локальность анализа можно изменять от 30 мкм до 3 мм. Сканирование поверхности образца осуществляется перемещением столика образцов. При этом максимальная площадь карты распределения элементов и фаз по поверхности образца составляет 50 мм х 18 мм;
• На входе полусферического электростатического анализатора энергий электронов установлена электромагнитная линза, которая очень эффективно собирает электроны, покидающие поверхность образца, и тем самым повышает чувствительность прибора более, чем в 20 раз. Кроме того, уже в базовый функционал JPS-9200 включен режим рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии полного отражения (TRXPS), позволяющий обнаруживать примеси с концентрациями до 10¹¹ атомов/см²;
• Большой столик образцов моторизован по 4 осям и позволяет работать с объектами диаметром до 90 мм;
• Новое программное обеспечение для анализа поверхности использует усовершенствованные алгоритмы деконволюции спектров, основанные на стандартных базах данных рентгеновских фотоэлектронных и Оже-спектров. Это освобождает оператора от проведения сложных расчетов, требующих большого опыта работы в области рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии;
• Возможность устанавливать разнообразные приставки (камера подготовки образцов, газовый реактор, вторично-ионный масс-спектрометр, приставка для нагрева и охлаждения образцов и др.).