Электронно-зондовый микроанализатор JXA-iHP200F

Электронно-зондовый микроанализатор JXA-iHP200F (integrated HyperProbe) – это превосходный прибор для неразрушающего, высококоточного локального количественного анализа элементного состава различных материалов на субмикронном уровне. От модели JXA-iSP100 он отличается тем, что использует в качестве источника электронов катод Шоттки, который обладает более высокой яркостью и намного меньшим диаметром электронного пучка. Это позволяет JXA-iHP200F проводить анализ с более высокой локальностью, чем микроанализаторам с вольфрамовыми и LaB6 катодами.

JXA-iHP200F дает возможность не только получать точные результаты количественного анализа, но и регистрировать отличного качества изображения поверхности образца. Разрешение JXA-iHP200F в режиме регистрации вторичных электронов составляет2,5 нм на аналитическом рабочем отрезке 11 мм, что является прекрасным показателем для микроанализатора, основной задачей которого является точный элементный анализ. Также этот прибор позволяет исследовать однородность материала, регистрируя отраженные электроны, проводить элементное картирование при помощи спектрометров с дисперсией по энергии или по длинам волн, изучать поля механических напряжений и разориентацию кристаллитов, используя систему дифракции отраженных электронов, по сути, работая в режиме растрового электронного микроскопа.

По желанию заказчика JXA-iSP100 комплектуется системой катодолюминесценции. Она позволяет получать изображения, регистрировать, анализировать спектры свечения образцов под воздействием электронного пучка и проводить картирование поверхности на определенных длинах волн. На выбор доступны системы двух типов: подключаемая через оптический микроскоп или через порт волнового спектрометра. Оба варианта имеют свои конструктивные особенности и возможности.

Основные преимущества:

• Высочайшая стабильность ускоряющего напряжения и тока пучка (отклонение не более 0,3% в час) обеспечивает высокую точность анализа;
• Электронно-оптическая колонна JXA-iHP200F с катодом Шоттки позволяет получать изображения высокого качества даже на больших рабочих отрезках (2,5нм на рабочем отрезке 11 мм);
• Электронная пушка обеспечивает широкий диапазон токов пучка (от 1 пА до 3 мкА);
• Электронно-зондовый микроанализатор JXA-iHP200F комплектуется энергодисперсионным спектрометром и 1-5 спектрометрами с волновой дисперсией.
• Два типа спектрометров с дисперсией по длинам волн: высокого спектрального разрешения и высокой интенсивности;
• Большой выбор кристалл-анализаторов, в том числе для легких элементов ;
• Высокое энергетическое разрешение спектрометров с дисперсией по длинам волн позволяет регистрировать химические сдвиги линий элементов и точно устанавливать валентное состояние элементов и фазовый состав образцов;
• Встроенный в держатель образцов блок на 18 стандартов позволяет быстро проводить калибровку спектрометров микрозонда и получать точные результаты, даже во время отсутствия оператора (например, при работе по заданной программе ночью);
• Точный анализ легких элементов(бериллий, бор, углерод, азот, кислород);
• Высокая механическая стабильность и высокая точность перемещений столика образцов (воспроизводимость положения столика не хуже 0,5 мкм);
• Большой столик образцов позволяет работать с объектами размерами до 100 мм х 100 мм х 50 мм;
• Полностью автоматизированная шлюзовая камера позволяет быструю и безопасную смену образцов Система навигации по оптическому и электронному изображению позволяет удобный поиск «мест интереса» на образцах, автоматическую запись координат, привязку координат к изображениям, возможность в любой момент вернуться в нужное место.
• Вакуумная система с двухстадийной дифференциальной откачкой уже многократно доказала свою надёжность и долговечность;
• Возможность устанавливать множество разнообразных приставок (энергодисперсионный спектрометр, cпектрометр мягкого рентгеновского излучения, система дифракции отраженных электронов, система катодолюминесценции и т.д.);
• Возможность установки системы проходящего поляризованного света и работы с прозрачно-полированными пластинами.