Рентгеновские фотоэлектронные спектрометры
Рентгеновские фотоэлектронные спектрометры (РФЭС) реализуют количественный спектроскопический метод исследования элементного состава и химического состояния атомов, присутствующих в материале. Благодаря своей высокой чувствительности, эти приборы также применяются для обнаружения малых примесей или загрязнений на поверхностях различных образцов. РФЭС широко используются в полупроводниковой и химической промышленности, полиграфии, археологии, а также в материаловедении.